Details
Une technologie de balayage unique avec :
- Une platine X/Y manuelle avec un déplacement de 4 inches (rotation non disponible)
- Un support d’échantillon standard 4inch
- LIS 3, Capteur à faible inertie avec 1 à 15mg de force
- Camera couleur 3.1 Mpixel avec un agrandissement sélectionnable
- Un stylet de rayon de courbure 2 µm
- Optically flat scan block avec une longueur de balayage de 55 mm
- 4 angstrom step height repeatability, 1 sigma on 1um step
- Un ordinateur PC Technologie 64Bits avec processeur de 3.2GHz, 4GB RAM, disque dur de 500GB
- Logiciel d’analyse vision64
- Calibration Standard, nominal 940nm (0.94um), avec certificat de Calibration incluse
- Stylus, LIS 3, 12.5um Radius, Red, Color Coded
- Type B
